首页    StepUX系列    StepUX-8
设备规格参数
设备型号 StepUX-8
分辨率[um] 8/8
套刻精度[um] ±0.1
焦深[um] ±150
曝光区域[mm] 52x33
基板尺寸[inch] 6/8/12(可根据需求提供其他基板尺寸)
减速比 1:2或1:1
NA(数值孔径) 0.24-0.12(可变)
光源 i线365nm(ghi)

 

图片编辑

StepUX-8

描述:StepAX对准投影式系列采用先进的光学设计技术,以及超高精度光学系统机构的设计、组装和调整技术,制造出分辨率达到理论极限的投影镜头,适用于6/8/12inch等集成电路先进封装领域,包括Wafer、RDL、Bumping、TSV等制程工艺, 能够对MEMS、IGBT、COMS图像传感器、微纳光学领域等精细图像的曝光。
产品特点:
•  分辨率:8um
•  套刻精度:±0.1um
•  高精度对准技术
•  边缘保护/边缘曝光
•  翘曲片处理
•  独有的物台加速和同步控制技术

*建议线宽/线距与工艺条件有关,具体以实际为准
*本指标参数仅供参考,具体以双方约定为主