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设备规格参数
设备型号 PrintEX-60P PrintEX-60S
平台类型 双台面
最大基板尺寸[mm] 630x810
最小基板尺寸[mm] 200x200
板厚[mm] 0.03 - 5
最小解析[um] 30/30
线宽均匀性 10%
对位精度[um] ±10
产能[p/h] 600 1200
感光焦深[um] ±300
光斑均匀性 >95%
光源[nm] 405
兼容 干膜、湿膜
制程 内层、外层线路
工作环境 电源: AC380V±5%/50HZ/27A/6KW
湿度:50+10%%RH
温度: 22+5°C
洁净度:10000级
设备尺寸[m] 长1.7x宽2.2x高2.0

 

45749920

PrintEX-60

描述:适用于替代传统线路层曝光机进行大规模量产,提升良率、产品品质,降低生产成本,适用于多层板、双层板等曝光场景。
产品特点:
• 双工作台面,提升生产效率
• 光机模组合自主可配
• 最小线宽\线距:60um\60um
• 支持多种涨缩、对位功能
• 友好交互,一键操作,易学易用
• 支持拼板

*建议线宽/线距与工艺条件有关,具体以实际为准
*本指标参数仅供参考,具体以双方约定为主